SiCがよりスマートな半導体工場/プロセス電源を実現

SiCがよりスマートな半導体工場/プロセス電源を実現

2022年9月11日

炭化ケイ素パワーモジュール

半導体デバイスの製造プロセスには、いくつかの明確で複雑なステップがあります。半導体製造装置で使用される電源は、プロセスの前工程と後工程におけるあらゆる作業に不可欠です。その電力密度、信頼性、設計の柔軟性により、エンジニアは、これまで使用されていなかったアプリケーションで、シリコンベースの電源と比較して炭化ケイ素(SiC)を使用する利点を見出しています。

ウォルフスピードとアストロダインTDI(ATDI)が提携し、SiC技術の利点を活用することで、最新の半導体工場/プロセス装置の多様な電源ニーズに応えることができるのは、電力密度と柔軟性のためです。特に、ATDI社の新しいKodiak電源プラットフォームは、40W/in3の電力密度を達成しています。特に、ウォルフスピードが長年培ってきた堅牢なSiCベース・ソリューションの開発は、ATDIがより優れたパワー・コンバータを提供し、ひいては顧客がプロセス制御を改善するのに役立っています。

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