碳化硅打造更智能的半导体制造/工艺电源

半导体设备制造工艺有几个不同的复杂步骤。半导体制造设备中使用的电源对于工艺前端和后端的每项任务都至关重要。由于碳化硅 (SiC) 具有功率密度高、可靠性强和设计灵活等优点，工程师们发现，与硅基电源相比，碳化硅 (SiC) 在以前未曾使用过的应用中也有很多优势。

功率密度和灵活性是 Wolfspeed 和 Astrodyne TDI (ATDI) 联手开发 SiC 技术优势的原因，以满足现代半导体工厂/工艺设备的各种电源需求。我们的共同努力通过采用碳化硅器件实现了更高的功率密度，其中最引人注目的是 ATDI 的新型 Kodiak 电源平台，其功率密度达到 40 W^/in3。具体而言，Wolfspeed 在开发基于 SiC 的强大解决方案方面的悠久历史有助于 ATDI 提供更好的功率转换器，从而帮助客户改善工艺控制。